產品詳情
        • 產品名稱:1200℃RTP退火爐

        • 產品型號:CY-RTP1000-Φ300-T
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        1200℃RTP退火爐是一款12寸片快速退火爐,采用革新的加熱技術,可實現真正的基底溫度測量,不需要采用傳統快速退火爐的溫度補償,溫度控制**,溫度重復性高,客戶包括國際上許多半導體公司及知名科研團隊,是半導體制程退火工藝的理想選擇
        詳情介紹:

        1200℃RTP退火爐是一款12寸片快速退火爐,采用革新的加熱技術,可實現真正的基底溫度測量,不需要采用傳統快速退火爐的溫度補償,溫度控制**,溫度重復性高,客戶包括國際上許多半導體公司及知名科研團隊,是半導體制程退火工藝的理想選擇。

        技術特色:

        ? 真正的基片溫度測量,無需傳統的溫度補償

        ? 紅外鹵素管燈加熱

        ? 極其優異的加熱溫度**性與均勻性

        ? 快速數字PID溫度控制

        ? 不銹鋼冷壁真空腔室

        ? 系統穩定性好

        ? 帶觸摸屏的PC控制

        ? 兼容常壓和真空環境,真空度標準值為5×10-3Torr,采用二級分子泵真空度低至5×10-6Torr

        ? *高3路氣體(MFC控制)

        ? 沒有交叉污染,沒有金屬污染

          技術參數:

        產品名稱

        1200RTP退火爐

        產品型號

        CY-RTP1000-Φ300-T

        基片尺寸

        12英寸

        基片基座

        石英針(可選配SiC涂層石墨基座)

        溫度范圍

        150-1200

        加熱速率

        10-150/S

        溫度均勻性

        ≤±1.5% (@800, Silicon wafer)

        ≤±1.0% (@800, Substrate on SiC coated graphite susceptor)

        溫度控制精度

        ≤ ±3

        溫度重復性

        ≤ ±3

        真空度

        5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr

        氣路供應

        標準1N2吹掃及冷卻氣路,由MFC控制(*多可選3路)

        退火持續時間

        10min@1200

        溫度控制

        快速數字PID控制

        尺  寸

        890mm*950mm*1400mm

        豫公網安備 41019702002438號