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產(chǎn)品名稱(chēng)：快速退火爐
產(chǎn)品型號(hào)：CY-RTP1000-Φ150-400-T
產(chǎn)品廠商：成越科儀
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

RTP快速退火爐的主要特點(diǎn)有：可在真空/不同氣氛/空氣不同環(huán)境下，對(duì)樣品進(jìn)行快速熱處理；控溫精度高；適合高等院校或研究機(jī)構(gòu)科研使用；主動(dòng)式水循環(huán)冷卻模式；立式設(shè)計(jì)；儀器采用觸摸屏技術(shù)：操作方便，裝取樣片簡(jiǎn)單高效；價(jià)格合理，高性?xún)r(jià)比。

詳情介紹：

本品是一款快速退火爐，采用鹵素?zé)艄芗訜幔捎糜诳焖贌嵬嘶稹⒖焖贌嵫趸⒖焖贌岬⒐杌U(kuò)散、化合物半導(dǎo)體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點(diǎn)分析、薄膜沉積、等等。

設(shè)備主要由石英真空室、真空泵機(jī)組、水冷機(jī)組、控制系統(tǒng)組成。控制系統(tǒng)采用智能溫控表控制，觸控屏操作。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動(dòng)化操作方式為用戶(hù)提供了優(yōu)良的研發(fā)平臺(tái)。爐膛采用左右滑動(dòng)的方式，與樣品的距離靈活可調(diào)。

設(shè)備配有國(guó)產(chǎn)雙極旋片泵，具有體積小，噪音小，無(wú)油污污染等優(yōu)點(diǎn)。

RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	CY-RTP1000-Φ150-400-T
爐管規(guī)格	內(nèi)徑120mm，加熱溫區(qū)400mm，總長(zhǎng)度550mm 材質(zhì)：高純石英
升溫速率	0-100℃/s
降溫速率	200℃以上≤25min
加熱元件	鹵素?zé)?/span>
真空接口	KF16
進(jìn)氣接口	寶塔頭搭配外徑8mm導(dǎo)氣軟管使用
法蘭規(guī)格	φ120不銹鋼真空法水冷法蘭水冷接口：φ8mm快插接頭
真空系統(tǒng)	雙極旋片泵抽速1.1L/s 極限真空度： 10^-1Pa
溫控系統(tǒng)	智能溫控表控溫帶有超溫保護(hù) 測(cè)溫：K型熱電偶
水冷機(jī)	水箱容量9L，*大揚(yáng)程10m
進(jìn)氣接口	φ8寶塔頭
電源要求	220V 50Hz，18kW
外形尺寸	1200mm x 610mm x 570mm

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