產品詳情
        • 產品名稱:多通道膜厚監控儀

        • 產品型號:CY-FTM-M4/M6?
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
        你添加了1件商品 查看購物車
        簡單介紹:
        ? 適用于普通蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量,特別適合多蒸發源鍍膜機和多腔室鍍膜機進行膜層監控; 膜厚監控儀的控制和顯示均通過觸摸屏實現,使您能獲取完整的沉積數據,包括速率、厚度和鍍膜時間等。
        詳情介紹:

        一、技術特點:

              1.多達六路探頭可同時監控,每路自由設置,既能獨立運行,也可聯合工作。

              2.每路二組繼電器輸出,到達設置厚度自動關閉擋板/蒸發源;

              3.全觸摸屏操作顯示,簡單易用;

              4.提供RS232/RS485接口,MODBUS RTU標準協議,多波特率可選,并配有專用控制軟件。

        二、應用范圍:

               適用于普通蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量,特別適合多蒸發源鍍膜機和多腔室鍍膜機進行膜層監控;

        膜厚監控儀的控制和顯示均通過觸摸屏實現,使您能獲取完整的沉積數據,包括速率、厚度和鍍膜時間等。

         

        三、主要參數:

         

        CY-FTM-M4/M6多通道監控儀

        晶振頻率

         6MHz(可選2.5M 3M 5M 9M晶體)

        顯示方式

        5”彩色觸屏+1路數碼管顯示速率和實厚

        操作方式

         觸摸屏

        厚度顯示范圍

        0-99μ9999?

        厚度實際分辨率

        0.1?(鋁)

        厚度顯示分辨率

        1?

        速率范圍

        0-999.9?

        速率顯示分辨率

        0.1?/s

        鍍膜層數

        99

        探頭輸入

        4/6路(可同時工作)

        工具因子

        0.01-99.99

        材料存儲

        257+自定義10

        通 訊

        RS232/RS485  MODBUS RTU協議

        擋板/源控制

        每路2組觸點,到達厚度關擋板/蒸發源

        鍍膜顯示

        數值/速率曲線

        鍍膜巡回次數

        0-99

        機箱尺寸

        480×250×89mm(2U 19”機箱)

        四、特殊功能:

        1)任意設置每一路的工作狀態,具有人工停止鍍膜功能;  

        2)可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比;

        3)顯示鍍膜結束后的監測厚度、晶振頻率、材料和層次。

        豫公網安備 41019702002438號