產品詳情
        • 產品名稱:桌面型雙靶磁控鍍膜儀

        • 產品型號:CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        CY-MSP210S-RFD桌面型雙靶磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計,在保留高真空不銹鋼腔體的同時,精簡了其他機構,將設備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源一個射頻電源,直流靶可用于金屬及其他導電材料的濺射,射頻電源可用于各種非金屬和金屬氧化物等的濺射。設備真空系統(tǒng)采用全進口真空泵,抽氣速度快,極限真空度高,真空性能優(yōu)異。本設備結構緊湊功能完善便于使用,非常適合用于各類鍍膜試驗。
        詳情介紹:

        技術參數:

        產品名稱

        桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀

        產品型號

        CY-MSZ210-I I -DCDC-SS

        樣品臺

        外形尺寸

        φ100mm

        加熱溫度

        500

        可調轉速

        20rpm

        磁控靶槍

        配兩支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

        真空腔體

        腔體尺寸

        φ210mm X260mm

        觀察窗口

        全向透明

        腔體材料

        304不銹鋼

        開啟方式

        上蓋拆卸式

        真空系統(tǒng)

        前級泵

        低噪音雙極旋片泵

        分子泵

        低噪音大抽速渦輪分子泵

        真空測量

        復合真空計,量程:10-5~105Pa

        抽氣接口

        KF16

        抽氣接口

        KF40

        排氣接口

        KF16

        系統(tǒng)真空

        1.0×10-4Pa

        供電電源

        AC 220V 50/60Hz

        抽氣速率

        分子泵抽速600L/s,前級泵抽速1.1L/s 

        電源配置

        電源數量

        直流電源兩套

        輸出功率

        500W

        其他參數

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        整機功率

        4kW

        整機尺寸

        550mm X 350mm X900mm


        豫公網安備 41019702002438號